6.3.2 特種氣體管道的設(shè)計應(yīng)符合用氣設(shè)備對流量、壓力的要求，并應(yīng)符合現(xiàn)行行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)《化工裝置工藝系統(tǒng)工程設(shè)計技術(shù)規(guī)定》HG/T 20570的有關(guān)規(guī)定。

6.3.3 管材的壁厚應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《流體輸送用不銹鋼無縫鋼管》GB/T 14976的有關(guān)規(guī)定。

6.3.4 液態(tài)特種氣體水平管道的坡度不應(yīng)小于0.3%，坡度應(yīng)坡向供液設(shè)備或收集器。

6.3.5 具有自燃性、劇毒性、強(qiáng)腐蝕性的特種氣體，宜采用雙套管設(shè)計。

6.3.6 低蒸汽壓特種氣體的管道應(yīng)設(shè)置伴熱和保溫措施，加熱溫度不宜超過50℃。

6.3.7 特種氣體管道宜采用全自動軌道焊接。閥件或管件連接處應(yīng)采用徑向面密封連接，不宜采用螺紋或法蘭連接。

6.3.8 特種氣體閥門應(yīng)采用隔膜閥或波紋管閥。

6.3.9 特種氣體管道連接用密封墊片宜選用不銹鋼或鎳墊片，墊片的材質(zhì)與特種氣體的性質(zhì)應(yīng)相容。

6.3.10 特種氣體輸送系統(tǒng)易產(chǎn)生顆粒的閥件下游宜安裝過濾器。

6.3.1 由于電子工廠應(yīng)用的特種氣體的品種多，且每種氣體的使用量較小的實際情況，特種氣體管道系統(tǒng)的管道設(shè)計中應(yīng)充分考慮所輸送的流體品種及其特性以及產(chǎn)品生產(chǎn)工藝所要求的動力、流量等參數(shù)進(jìn)行設(shè)計，為此做了本條規(guī)定。管材通常采用美國機(jī)械工程師協(xié)會ASME B36.10標(biāo)準(zhǔn)的 Sch5 或 Sch10 的管道，但是設(shè)計要符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《工業(yè)金屬管道設(shè)計規(guī)范》GB 50316 的98規(guī)定。
6.3.2 電子產(chǎn)品生產(chǎn)設(shè)備用特種氣體的用量較小，壓力較低，因此，在進(jìn)行管道水力計算時應(yīng)充分考慮流量、壓力、溫度等參數(shù)，按照流量設(shè)計圖表對管道進(jìn)行設(shè)計計算。目前電子工廠中的大多數(shù)特種氣體管道的管徑較小，一般不超過DN25。
6.3.3 由于電子工廠使用的特種氣體要求具有較高的純度，所以對輸送管道的材質(zhì)有嚴(yán)格的要求，目前主要是采用進(jìn)口的低碳不銹鋼管道，如EP管、BA管等。表3是不銹鋼管外徑和壁厚規(guī)格。電子行業(yè)常用的是美標(biāo)和日標(biāo)規(guī)格。

表3 不銹鋼管道外徑壁厚規(guī)格

6.3.4 為了保證液體的流動，本條規(guī)定液態(tài)特種氣體水平管道應(yīng)有不小于0.3%的坡度，坡度應(yīng)坡向供液設(shè)備或收集器。
6.3.5 由于自燃性、劇毒性和強(qiáng)腐蝕性氣體一旦泄漏，危害性極大，將會造成較大的人身傷亡和財產(chǎn)損失，目前在電子工廠中較多地采用雙層管道輸送這類特種氣體，屬于這類特種氣體的主要有強(qiáng)反應(yīng)性氣體：B₂H₆、H₂Se、GeH₄、SiH₄、Si₂H₆、SiH₃CH₃、C₂H₂、 B(CH₃)₃、F₂、CIF₃等；自燃性氣體：B₂H₆、GeH₄、SiH₄、Si₂H₆、SiH₃CH₃、 B(CH₃)₃等劇毒性氣體：AsH₃、PH₃、GeH₄、B₂H₆、H₂Se、F₂、 B(CH₃)₃、NO、CIF₃、PF₅等。但是在工程實際中，由于每一個工廠對氣體特性的理解不同，從而導(dǎo)致同一種高危險性氣體在不同工廠所使用的管道不一致。

6.3.6 為防止低蒸汽壓力氣體在輸送過程中，因為冷卻導(dǎo)致液化，導(dǎo)致輸送困難，無法使用，本條規(guī)定低蒸汽壓力氣體應(yīng)設(shè)置伴熱或保溫措施。電子工廠應(yīng)用的低蒸汽壓氣體主要有BCl₃、C₅F₈、WF₆、SiH₂CI₂、CIF₃等。

6.3.7 為防止特種氣體的泄漏和確保管道焊接質(zhì)量，特種氣體管道宜采用全自動管道焊接連接，與閥門或管件連接處，應(yīng)采用徑向面密封連接(VCR連接)，規(guī)定不宜采用螺紋或法蘭連接的目的也是防止氣體在連接處發(fā)生泄漏。

6.3.8  隔膜閥和波紋管閥都具有良好的密封性，且不易產(chǎn)生顆粒；而球閥、旋塞閥等，因采用填料密封，密封性較差，易發(fā)生泄漏，且閥門開關(guān)時有部件摩擦，易產(chǎn)生顆粒，不能滿足特種氣體的輸送過程的嚴(yán)格要求。

6.3.9 為防止密封墊片與特種氣體性質(zhì)的不相容而產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)，規(guī)定墊片宜采用不銹鋼或鎳墊片，墊片與特種氣體的性質(zhì)應(yīng)該相容。

6.3.10 特種氣體鋼瓶接口處，在每次更換鋼瓶時，因摩擦作用易產(chǎn)生顆粒，因此其下游宜設(shè)置過濾器，保護(hù)閥門的膜片和下游氣體不被污染。為了保證特種氣體的純度，在接人生產(chǎn)工藝設(shè)備前的特種氣體管道上宜設(shè)置精密過濾器。